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中国科学技术大学主导制定半导体线宽检测的首个ISO国际标准
中国科学技术大学 半导体 线宽检测 ISO国际标准
2020/3/6
近日，国际标准化组织（ISO）正式发布了微束分析领域中的一项国际标准：“基于测长扫描电镜的关键尺寸评测方法”（Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM (ISO 21466)），该标准由中国科学技术大学物理学院和微尺度物质科学国家研究...
2020年3月4日获悉，我院顺利通过中国网络安全审查技术与认证中心信息安全管理体系认证资质监督审核。1月10日，中国网络安全审查技术与认证中心审核专家组对我院2019年度信息安全管理体系运行情况进行了现场审核，包括信息资产识别、风险评估、内审及业务连续性等主要内容。专家组一致认为我院信息安全管理体系文件架构清晰，体系持续运行有效，符合GB/T 22080-2016/ISO/IEC 27001:20...