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基于Fuzzy-PID的MOCVD温度控制方法 MOCVD 温度控制模糊PID控制 2009/6/5

针对MOCVD系统反应室温度的特性和对温度控制的要求，提出了一种基于Fuzzy-PID的温度控制方案，即利用模糊控制求得归一化的PID参数变化系数，从而实现PID参数的在线自调整．与Smith预估控制相比，Fuzzy-PID具有更好的控制效果，较好地解决了系统中存在的“非线性”、“大滞后”、“物理模型不精确”等问题，满足MOCVD控制系统温度控制要求．