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该课题发明和优化了光学超晶格室温极化制备技术,制备出厚度在0.5 — 1.3 mm 之间,具不同微结构的化学计量比光学超晶格钽酸锂晶体,并利用这些晶体研制成新型光学超晶格全固态激光器样机多台。其中: 532纳米绿光激光器输出功率大于3瓦; 660纳米红光激光器输出功率大于2瓦; 440纳米蓝光激光器输出功率大于400毫瓦; 红、黄、绿、蓝四色激光器输出功率大于500毫瓦,超过合同指标,达到国际先进...
超薄LiTaO3晶片的键合减薄技术
红外热释电探测器 LiTaO3晶片 键合减薄 热释电系数
2008/9/22
在制造红外热释电探测器阵列过程中,需要利用超薄钽酸锂(LiTaO3)晶片作为红外热释电探测器件的敏感层。通常LiTaO3晶片的厚度远厚于红外热释电探测器件要求的厚度,所以需要采用键合减薄技术对LiTaO3晶片进行加工处理。键合减薄技术主要包括:苯并环丁烯(BCB)键合、铣磨、抛光、加热剥离、刻蚀BCB。加工后得到面积为10mm×10mm、厚度为25μm的超薄单晶LiTaO3薄膜,晶片厚度、表面粗糙...
化学计量比LiNbO3、LiTaO3光学超晶格和全固态激光器
光学超晶格 全固态激光器
2008/9/12
该课题发明和优化了光学超晶格室温极化制备技术,制备出厚度在0.5~1.3 mm 之间,具不同微结构的化学计量比光学超晶格钽酸锂晶体,并利用这些晶体研制成新型光学超晶格全固态激光器样机多台。其中:532纳米绿光激光器输出功率大于3瓦;660纳米红光激光器输出功率大于2瓦;440纳米蓝光激光器输出功率大于400毫瓦;红、黄、绿、蓝四色激光器输出功率大于500毫瓦,超过合同指标,达到国际先进水平,输出...